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陶瓷材料性能参数表

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半导体设备陶瓷机械手臂的性能及其作用—广东夏阳精细陶瓷科技有限公司
来源:XYC | 作者:XYC | 发布时间: 2023-09-19 | 2820 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
陶瓷机械手臂又称末端执行器、陶瓷机械手等,主要在半导体设备中起到

介电强度：22KV/MM                                        介电强度：0KV/MM                                      介电强度：12KV/MM


材料优点：


1.高硬度     2.散热快     3.耐磨损      4.绝缘/无干扰     5.耐酸碱、抗腐蚀能力强，能适应极度恶劣




       
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